2023年度國(guó)家自然科學(xué)基金指南引導(dǎo)類(lèi)原創(chuàng)探索計(jì)劃項(xiàng)目——“芯片亞納米級(jí)制造前沿探索”項(xiàng)目指南

　　為貫徹落實(shí)黨中央、國(guó)務(wù)院關(guān)于加強(qiáng)基礎(chǔ)研究和提升原始創(chuàng)新能力的重要戰(zhàn)略部署，國(guó)家自然科學(xué)基金委員會(huì)（以下簡(jiǎn)稱(chēng)自然科學(xué)基金委）工程與材料學(xué)部擬資助“芯片亞納米級(jí)制造前沿探索”原創(chuàng)探索計(jì)劃項(xiàng)目（以下簡(jiǎn)稱(chēng)原創(chuàng)項(xiàng)目）。

　　后摩爾時(shí)代芯片先進(jìn)制程工藝將邁入1 nm節(jié)點(diǎn)，亞納米級(jí)制造貫穿芯片制造工藝的全流程。然而，亞納米制造涉及從經(jīng)典連續(xù)力學(xué)行為到量子行為的跨越，存在原子間、原子與能場(chǎng)間復(fù)雜的相互作用，因此亟需發(fā)展面向未來(lái)芯片的亞納米級(jí)制造新原理與新方法。

　　一、科學(xué)目標(biāo)

　　本項(xiàng)目圍繞未來(lái)芯片制造面臨的共性基礎(chǔ)科學(xué)問(wèn)題，旨在通過(guò)揭示表界面亞納米級(jí)尺度的定域、定量、定勢(shì)調(diào)控機(jī)制，建立亞納米級(jí)精度表面與結(jié)構(gòu)的可控加工方法，為發(fā)展原子級(jí)制造開(kāi)展先導(dǎo)性探索，支撐新一代芯片制造關(guān)鍵工藝和裝備能力的升級(jí)換代。

　　二、資助方向

　　（一）芯片制造過(guò)程中的亞納米級(jí)去除新原理與新方法。

　　開(kāi)展多元互連異質(zhì)表面亞納米級(jí)可控去除基礎(chǔ)研究，探索亞納米級(jí)可控去除的限域作用機(jī)理及多源能量調(diào)控機(jī)制，發(fā)展外場(chǎng)調(diào)控多元異質(zhì)材料亞納米級(jí)同步去除技術(shù)，形成宏觀尺度互連異質(zhì)表面亞納米級(jí)一致去除一致控制的拋光工藝、技術(shù)與裝備。

　?。ǘ┬酒冗M(jìn)制程中的三維亞納米級(jí)結(jié)構(gòu)構(gòu)筑新原理與新方法。

　　開(kāi)展極小尺度、極高深寬比亞納米結(jié)構(gòu)精準(zhǔn)制造基礎(chǔ)研究，探究原子級(jí)表面改性與反應(yīng)調(diào)控機(jī)制，發(fā)展亞納米級(jí)表面改性的壓印模板制造與選區(qū)沉積技術(shù)，形成芯片三維互聯(lián)亞納米結(jié)構(gòu)的壓印成形與原子級(jí)精準(zhǔn)沉積制造工藝與裝備。

　?。ㄈ┑谒拇雽?dǎo)體材料的亞納米級(jí)制造新原理。

　　發(fā)展金剛石等第四代半導(dǎo)體材料的“時(shí)-空-頻”多參數(shù)協(xié)同調(diào)控的激光制造等亞納米級(jí)制造新原理新技術(shù)；開(kāi)展典型構(gòu)件幾何特性、物化特性的跨尺度表征，建立其性能和制造之間的關(guān)系。

　?。ㄋ模┬酒瑏喖{米級(jí)制造過(guò)程中的缺陷檢測(cè)與修復(fù)。

　　探索芯片亞納米級(jí)制造過(guò)程中缺陷的形成機(jī)制，研究缺陷對(duì)外部能場(chǎng)的限域反應(yīng)機(jī)制，發(fā)展超高時(shí)空精度的表面、亞表面缺陷一體化檢測(cè)技術(shù)，揭示外加能場(chǎng)作用下原子有序重構(gòu)規(guī)律，形成基于原子排布精準(zhǔn)調(diào)控的缺陷消除和修復(fù)新方法。

　　三、資助計(jì)劃

　　本原創(chuàng)項(xiàng)目資助期限為3年，申請(qǐng)書(shū)中研究期限應(yīng)填寫(xiě)“2024年1月1日－2026年12月31日”。計(jì)劃資助4-5項(xiàng)，平均資助強(qiáng)度200萬(wàn)/項(xiàng)。

　　四、申請(qǐng)要求

　?。ㄒ唬┥暾?qǐng)資格。

　　具有承擔(dān)基礎(chǔ)研究項(xiàng)目（課題）或其他基礎(chǔ)研究經(jīng)歷的科學(xué)技術(shù)人員均可提出申請(qǐng)。

　?。ǘ┫揄?xiàng)申請(qǐng)規(guī)定。

　　1.申請(qǐng)人同年只能申請(qǐng)1項(xiàng)原創(chuàng)項(xiàng)目（含預(yù)申請(qǐng)）。

　　2.原創(chuàng)項(xiàng)目從預(yù)申請(qǐng)開(kāi)始直到自然科學(xué)基金委做出資助與否決定之前，不計(jì)入申請(qǐng)和承擔(dān)總數(shù)范圍，獲資助后計(jì)入申請(qǐng)和承擔(dān)總數(shù)范圍。

　　3.應(yīng)符合《2023年度國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目指南》中對(duì)申請(qǐng)項(xiàng)目數(shù)量的限制。

　　五、申請(qǐng)程序

　?。ㄒ唬╊A(yù)申請(qǐng)。

　　1.預(yù)申請(qǐng)?zhí)峤粫r(shí)間為2023年11月24日－11月26日16:00時(shí)，以國(guó)家自然科學(xué)基金網(wǎng)絡(luò)信息系統(tǒng)（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“信息系統(tǒng)”）提交時(shí)間為準(zhǔn)，在提交時(shí)間之外提交的申請(qǐng)將不予受理。

　　2.請(qǐng)申請(qǐng)人登錄信息系統(tǒng)https://grants.nsfc.gov.cn撰寫(xiě)預(yù)申請(qǐng)。沒(méi)有信息系統(tǒng)賬號(hào)的申請(qǐng)人請(qǐng)向依托單位基金管理聯(lián)系人申請(qǐng)開(kāi)戶(hù)。在信息系統(tǒng)“申請(qǐng)與受理”菜單下，點(diǎn)擊“原創(chuàng)項(xiàng)目預(yù)申請(qǐng)”，進(jìn)入預(yù)申請(qǐng)?zhí)顚?xiě)頁(yè)面，選擇“指南引導(dǎo)類(lèi)”，附注說(shuō)明選擇“芯片亞納米級(jí)制造前沿探索”，申請(qǐng)代碼1應(yīng)當(dāng)填寫(xiě)工程與材料科學(xué)部相應(yīng)的申請(qǐng)代碼（“E”字母開(kāi)頭），申請(qǐng)代碼2根據(jù)項(xiàng)目研究所涉及的領(lǐng)域自行選擇相應(yīng)學(xué)科申請(qǐng)代碼。以上選擇不準(zhǔn)確或未選擇的項(xiàng)目申請(qǐng)不予資助。

　　3.預(yù)申請(qǐng)主要闡述所提學(xué)術(shù)思想的原創(chuàng)性、科學(xué)性和潛在影響力，字?jǐn)?shù)控制在2000字以?xún)?nèi)。另外，申請(qǐng)人還須在“與指南所列研究方向的吻合性”中注明申請(qǐng)針對(duì)的本指南所列資助方向名稱(chēng)。申請(qǐng)人按照信息系統(tǒng)中的有關(guān)提示填寫(xiě)預(yù)申請(qǐng)相關(guān)內(nèi)容后直接提交至自然科學(xué)基金委。

　　4.自然科學(xué)基金委受理預(yù)申請(qǐng)并組織審查。審查結(jié)果將以電子郵件形式反饋至申請(qǐng)人。

　?。ǘ┱缴暾?qǐng)。

　　1.預(yù)申請(qǐng)審查通過(guò)的申請(qǐng)人，應(yīng)按照“專(zhuān)項(xiàng)項(xiàng)目-原創(chuàng)探索計(jì)劃項(xiàng)目正式申請(qǐng)書(shū)撰寫(xiě)提綱”要求填寫(xiě)正式申請(qǐng)書(shū)。正式申請(qǐng)的核心研究?jī)?nèi)容應(yīng)與預(yù)申請(qǐng)一致，并要求在正式申請(qǐng)書(shū)正文的第一句明確寫(xiě)明申請(qǐng)項(xiàng)目所對(duì)應(yīng)的本指南所列資助方向。

　　2.除特別說(shuō)明外，每個(gè)原創(chuàng)項(xiàng)目的合作研究單位數(shù)合計(jì)不超過(guò)2個(gè)；主要參與者必須是項(xiàng)目的實(shí)際貢獻(xiàn)者。

　　3.申請(qǐng)人應(yīng)根據(jù)《國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目資金管理辦法》《項(xiàng)目資金管理有關(guān)問(wèn)題的補(bǔ)充通知》有關(guān)規(guī)定和《國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目資金預(yù)算表編制說(shuō)明》的具體要求，按照“目標(biāo)相關(guān)性、政策相符性、經(jīng)濟(jì)合理性”的基本原則，認(rèn)真編制《國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目資金預(yù)算表》。

　　4.申請(qǐng)人完成申請(qǐng)書(shū)撰寫(xiě)后，在線提交電子申請(qǐng)書(shū)及附件材料。

　　5.依托單位應(yīng)對(duì)本單位申請(qǐng)人所提交申請(qǐng)材料的真實(shí)性和完整性進(jìn)行審核。原創(chuàng)項(xiàng)目采用無(wú)紙化申請(qǐng)方式，依托單位只需在線確認(rèn)并及時(shí)提交電子申請(qǐng)書(shū)及附件材料，并在截止時(shí)間后24小時(shí)內(nèi)在線提交項(xiàng)目申請(qǐng)清單，無(wú)需報(bào)送紙質(zhì)申請(qǐng)書(shū)。項(xiàng)目獲批準(zhǔn)后，將申請(qǐng)書(shū)的紙質(zhì)簽字蓋章頁(yè)裝訂在《資助項(xiàng)目計(jì)劃書(shū)》最后，與之一并提交。簽字蓋章的信息應(yīng)與信息系統(tǒng)中的電子申請(qǐng)書(shū)保持一致。

　　6.自然科學(xué)基金委項(xiàng)目材料接收工作組負(fù)責(zé)接收申請(qǐng)材料，如材料不完整，將不予接收。材料接收工作組聯(lián)系方式如下：北京市海淀區(qū)雙清路83號(hào)國(guó)家自然科學(xué)基金委員會(huì)項(xiàng)目材料接收工作組（行政樓101房間），聯(lián)系電話：010-62328591。

　　六、注意事項(xiàng)

　?。ㄒ唬┵Y助項(xiàng)目信息公布。

　　自然科學(xué)基金委將在官方網(wǎng)站公布資助原創(chuàng)項(xiàng)目基本信息。

　　（二）項(xiàng)目實(shí)施保障。

　　原創(chuàng)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人應(yīng)將主要精力投入原創(chuàng)項(xiàng)目的研究中；依托單位應(yīng)加強(qiáng)對(duì)原創(chuàng)項(xiàng)目實(shí)施的監(jiān)督、管理和服務(wù)，減輕項(xiàng)目負(fù)責(zé)人不必要的負(fù)擔(dān)，為項(xiàng)目研究提供必要的制度和條件保障。

　?。ㄈ┢渌?。

　　原創(chuàng)項(xiàng)目申請(qǐng)與資助不設(shè)復(fù)審環(huán)節(jié)。

　　自然科學(xué)基金委將把相關(guān)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人項(xiàng)目執(zhí)行情況和評(píng)審專(zhuān)家的評(píng)審情況計(jì)入信譽(yù)檔案。

　　（四）咨詢(xún)方式。

　　1.填報(bào)過(guò)程中遇到的技術(shù)問(wèn)題，可聯(lián)系自然科學(xué)基金委信息中心協(xié)助解決，聯(lián)系電話：010-62317474。

　　2.其他問(wèn)題可咨詢(xún)工程與材料科學(xué)部綜合與戰(zhàn)略規(guī)劃處，電話：010-62326887。

　　 

　　2023年度國(guó)家自然科學(xué)基金指南引導(dǎo)類(lèi)原創(chuàng)探索計(jì)劃項(xiàng)目——“復(fù)雜惡劣條件下水電工程智能建設(shè)新理論新方法”項(xiàng)目指南

　　面向國(guó)家西南地區(qū)水電開(kāi)發(fā)重大戰(zhàn)略，國(guó)家自然科學(xué)基金委員會(huì)（以下簡(jiǎn)稱(chēng)自然科學(xué)基金委）工程與材料科學(xué)部擬資助“復(fù)雜惡劣條件下水電工程智能建設(shè)新理論新方法”原創(chuàng)探索計(jì)劃項(xiàng)目（以下簡(jiǎn)稱(chēng)原創(chuàng)項(xiàng)目）。

　　一、科學(xué)目標(biāo)

　　聚焦復(fù)雜惡劣條件下巨型水電工程建設(shè)難點(diǎn)和挑戰(zhàn)，在超深厚覆蓋層堆石壩面板混凝土澆筑振搗質(zhì)量控制、面板韌性與結(jié)構(gòu)性態(tài)演化、深埋超大規(guī)模地下廠房洞室群開(kāi)挖鉆爆等方面，開(kāi)展智能感知、精準(zhǔn)分析模擬、智能饋控研究，建立水電工程智能建設(shè)創(chuàng)新理論與方法。

　　二、資助方向

　?。ㄒ唬?fù)雜惡劣條件下堆石壩面板混凝土振搗探測(cè)智能感知。

　　研究觸覺(jué)、視覺(jué)、力覺(jué)等多模態(tài)協(xié)同探測(cè)與智能感知方法，揭示振搗過(guò)程中混凝土流變性能、組分（骨料、氣泡等）分布與演變規(guī)律，提出混凝土振搗質(zhì)量智能辨析方法。

　?。ǘ┏詈窀采w層堆石壩混凝土面板韌性時(shí)變分析。

　　研究堆石壩混凝土面板性態(tài)參變量的智能表征，揭示超深厚覆蓋層混凝土面板變形演化規(guī)律，建立強(qiáng)地震條件下堆石壩混凝土面板韌性分析方法。

　?。ㄈ┥盥癯笠?guī)模地下廠房洞室群復(fù)雜巖體智能鉆爆。

　　研究深埋地下洞室群復(fù)雜巖體智能鉆爆環(huán)境構(gòu)圖，建立鉆爆開(kāi)挖智能布孔方法，提出多鉆臂高效協(xié)同機(jī)制與智能精準(zhǔn)鉆進(jìn)理論模型。

　　三、資助計(jì)劃

　　本原創(chuàng)項(xiàng)目資助期限為3年，申請(qǐng)書(shū)中研究期限應(yīng)填寫(xiě)“2024年1月1日－2026年12月31日”。計(jì)劃資助3項(xiàng)，平均資助強(qiáng)度200萬(wàn)元/項(xiàng)。

　　四、申請(qǐng)要求

　　（一）申請(qǐng)資格。

　　具有承擔(dān)基礎(chǔ)研究項(xiàng)目（課題）或其他基礎(chǔ)研究經(jīng)歷的科學(xué)技術(shù)人員均可提出申請(qǐng)。

　?。ǘ┫揄?xiàng)申請(qǐng)規(guī)定。

　　1.申請(qǐng)人同年只能申請(qǐng)1項(xiàng)原創(chuàng)項(xiàng)目（含預(yù)申請(qǐng)）。

　　2.原創(chuàng)項(xiàng)目從預(yù)申請(qǐng)開(kāi)始直到自然科學(xué)基金委做出資助與否決定之前，不計(jì)入申請(qǐng)和承擔(dān)總數(shù)范圍，獲資助后計(jì)入申請(qǐng)和承擔(dān)總數(shù)范圍。

　　3.應(yīng)符合《2023年度國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目指南》中對(duì)申請(qǐng)項(xiàng)目數(shù)量的限制。

　　五、申請(qǐng)程序

　?。ㄒ唬╊A(yù)申請(qǐng)。

　　1.預(yù)申請(qǐng)?zhí)峤粫r(shí)間為2023年11月24日－11月26日16:00時(shí)，以國(guó)家自然科學(xué)基金網(wǎng)絡(luò)信息系統(tǒng)（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“信息系統(tǒng)”）提交時(shí)間為準(zhǔn)，在提交時(shí)間之外提交的申請(qǐng)將不予受理。

　　2.請(qǐng)申請(qǐng)人登錄信息系統(tǒng)https://grants.nsfc.gov.cn撰寫(xiě)預(yù)申請(qǐng)。沒(méi)有信息系統(tǒng)賬號(hào)的申請(qǐng)人請(qǐng)向依托單位基金管理聯(lián)系人申請(qǐng)開(kāi)戶(hù)。在信息系統(tǒng)“申請(qǐng)與受理”菜單下，點(diǎn)擊“原創(chuàng)項(xiàng)目預(yù)申請(qǐng)”，進(jìn)入預(yù)申請(qǐng)?zhí)顚?xiě)頁(yè)面，選擇“指南引導(dǎo)類(lèi)”，附注說(shuō)明選擇“復(fù)雜惡劣條件下水電工程智能建設(shè)新理論新方法”，申請(qǐng)代碼1應(yīng)當(dāng)填寫(xiě)工程與材料科學(xué)部相應(yīng)的申請(qǐng)代碼（“E”字母開(kāi)頭），申請(qǐng)代碼2根據(jù)項(xiàng)目研究所涉及的領(lǐng)域自行選擇相應(yīng)學(xué)科申請(qǐng)代碼。以上選擇不準(zhǔn)確或未選擇的項(xiàng)目申請(qǐng)不予資助。

　　3.預(yù)申請(qǐng)主要闡述所提學(xué)術(shù)思想的原創(chuàng)性、科學(xué)性和潛在影響力，字?jǐn)?shù)控制在2000字以?xún)?nèi)。另外，申請(qǐng)人還須在“與指南所列研究方向的吻合性”中注明申請(qǐng)針對(duì)的本指南所列資助方向名稱(chēng)。申請(qǐng)人按照信息系統(tǒng)中的有關(guān)提示填寫(xiě)預(yù)申請(qǐng)相關(guān)內(nèi)容后直接提交至自然科學(xué)基金委。

　　4.自然科學(xué)基金委受理預(yù)申請(qǐng)并組織審查。審查結(jié)果將以電子郵件形式反饋至申請(qǐng)人。

　?。ǘ┱缴暾?qǐng)。

　　1.預(yù)申請(qǐng)審查通過(guò)的申請(qǐng)人，應(yīng)按照“專(zhuān)項(xiàng)項(xiàng)目-原創(chuàng)探索計(jì)劃項(xiàng)目正式申請(qǐng)書(shū)撰寫(xiě)提綱”要求填寫(xiě)正式申請(qǐng)書(shū)。正式申請(qǐng)的核心研究?jī)?nèi)容應(yīng)與預(yù)申請(qǐng)一致，并要求在正式申請(qǐng)書(shū)正文的第一句明確寫(xiě)明申請(qǐng)項(xiàng)目所對(duì)應(yīng)的本指南所列資助方向。

　　2.除特別說(shuō)明外，每個(gè)原創(chuàng)項(xiàng)目的合作研究單位數(shù)合計(jì)不超過(guò)2個(gè)；主要參與者必須是項(xiàng)目的實(shí)際貢獻(xiàn)者。

　　3.申請(qǐng)人應(yīng)根據(jù)《國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目資金管理辦法》《項(xiàng)目資金管理有關(guān)問(wèn)題的補(bǔ)充通知》有關(guān)規(guī)定和《國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目資金預(yù)算表編制說(shuō)明》的具體要求，按照“目標(biāo)相關(guān)性、政策相符性、經(jīng)濟(jì)合理性”的基本原則，認(rèn)真編制《國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目資金預(yù)算表》。

　　4.申請(qǐng)人完成申請(qǐng)書(shū)撰寫(xiě)后，在線提交電子申請(qǐng)書(shū)及附件材料。

　　5.依托單位應(yīng)對(duì)本單位申請(qǐng)人所提交申請(qǐng)材料的真實(shí)性和完整性進(jìn)行審核。原創(chuàng)項(xiàng)目采用無(wú)紙化申請(qǐng)方式，依托單位只需在線確認(rèn)并及時(shí)提交電子申請(qǐng)書(shū)及附件材料，并在截止時(shí)間后24小時(shí)內(nèi)在線提交項(xiàng)目申請(qǐng)清單，無(wú)需報(bào)送紙質(zhì)申請(qǐng)書(shū)。項(xiàng)目獲批準(zhǔn)后，將申請(qǐng)書(shū)的紙質(zhì)簽字蓋章頁(yè)裝訂在《資助項(xiàng)目計(jì)劃書(shū)》最后，與之一并提交。簽字蓋章的信息應(yīng)與信息系統(tǒng)中的電子申請(qǐng)書(shū)保持一致。

　　6.自然科學(xué)基金委項(xiàng)目材料接收工作組負(fù)責(zé)接收申請(qǐng)材料，如材料不完整，將不予接收。材料接收工作組聯(lián)系方式如下：北京市海淀區(qū)雙清路83號(hào)國(guó)家自然科學(xué)基金委員會(huì)項(xiàng)目材料接收工作組（行政樓101房間），聯(lián)系電話：010-62328591。

　　六、注意事項(xiàng)

　　（一）資助項(xiàng)目信息公布。

　　自然科學(xué)基金委將在官方網(wǎng)站公布資助原創(chuàng)項(xiàng)目基本信息。

　?。ǘ╉?xiàng)目實(shí)施保障。

　　原創(chuàng)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人應(yīng)將主要精力投入原創(chuàng)項(xiàng)目的研究中；依托單位應(yīng)加強(qiáng)對(duì)原創(chuàng)項(xiàng)目實(shí)施的監(jiān)督、管理和服務(wù)，減輕項(xiàng)目負(fù)責(zé)人不必要的負(fù)擔(dān)，為項(xiàng)目研究提供必要的制度和條件保障。

　?。ㄈ┢渌?。

　　原創(chuàng)項(xiàng)目申請(qǐng)與資助不設(shè)復(fù)審環(huán)節(jié)。

　　自然科學(xué)基金委將把相關(guān)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人項(xiàng)目執(zhí)行情況和評(píng)審專(zhuān)家的評(píng)審情況計(jì)入信譽(yù)檔案。

　　（四）咨詢(xún)方式。

　　1.填報(bào)過(guò)程中遇到的技術(shù)問(wèn)題，可聯(lián)系自然科學(xué)基金委信息中心協(xié)助解決，聯(lián)系電話：010-62317474。

　　2.其他問(wèn)題可咨詢(xún)工程與材料科學(xué)部綜合與戰(zhàn)略規(guī)劃處，電話：010-62326887。

　　2023年度國(guó)家自然科學(xué)基金指南引導(dǎo)類(lèi)原創(chuàng)探索計(jì)劃項(xiàng)目——“集成電路關(guān)鍵材料前沿探索”項(xiàng)目指南

　　為貫徹落實(shí)黨中央、國(guó)務(wù)院關(guān)于加強(qiáng)基礎(chǔ)研究和提升原始創(chuàng)新能力的重要戰(zhàn)略部署，國(guó)家自然科學(xué)基金委員會(huì)（以下簡(jiǎn)稱(chēng)自然科學(xué)基金委）工程與材料科學(xué)部擬資助“集成電路關(guān)鍵材料前沿探索”原創(chuàng)探索計(jì)劃項(xiàng)目（以下簡(jiǎn)稱(chēng)原創(chuàng)項(xiàng)目）。集成電路材料是集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基石，因此自主研發(fā)集成電路用關(guān)鍵材料尤為重要。本項(xiàng)目通過(guò)材料、化學(xué)、物理和信息等多學(xué)科的深度交叉融合，針對(duì)集成電路制造過(guò)程中涉及到的關(guān)鍵金屬材料、無(wú)機(jī)非金屬材料及有機(jī)高分子材料，探索材料制備與應(yīng)用的新原理、新方法與新技術(shù)，推動(dòng)原始創(chuàng)新，為突破集成電路材料領(lǐng)域的“卡脖子”難題提供基礎(chǔ)支撐，服務(wù)國(guó)家重大戰(zhàn)略需求，引領(lǐng)國(guó)際科技前沿。

　　一、科學(xué)目標(biāo)

　　本項(xiàng)目面向集成電路用關(guān)鍵材料，具體科學(xué)目標(biāo)如下：（1）聚焦光刻膠、柔性集成電路載板等高分子材料的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、固化機(jī)制及復(fù)合材料界面微結(jié)構(gòu)演變與失效機(jī)理，實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵材料的理論預(yù)測(cè)、精準(zhǔn)合成與技術(shù)突破；（2）針對(duì)集成電路尺寸微縮瓶頸與挑戰(zhàn)，發(fā)展低功耗、高集成度器件應(yīng)用所需的新型非硅CMOS溝道材料、晶體柵介質(zhì)材料、高效電光調(diào)制系數(shù)材料和三維堆疊鐵電存儲(chǔ)陣列材料；（3）針對(duì)集成電路極限制程封裝的微凸點(diǎn)高質(zhì)量制備和高密度互連需求，發(fā)展晶圓級(jí)微凸點(diǎn)互連材料，實(shí)現(xiàn)封裝電接觸材料的精準(zhǔn)構(gòu)筑。

　　二、資助方向

　?。ㄒ唬O紫外高分子光刻膠。

　　針對(duì)極紫外光刻膠應(yīng)用目標(biāo)，建立序列可控精準(zhǔn)高分子的合成方法及原位分析手段，闡明光刻膠的精準(zhǔn)化學(xué)/聚集態(tài)結(jié)構(gòu)與靈敏度、分辨率、線邊緣粗糙度間的關(guān)聯(lián)，構(gòu)建非光酸放大型極紫外光刻膠材料。

　?。ǘ┍菊餍蛯娱g互聯(lián)封裝光刻膠。

　　發(fā)展耐高溫光刻膠，研究聚合物固化機(jī)制及固化條件與光刻膠性能之間的關(guān)系，揭示光刻圖形缺陷形成機(jī)制，發(fā)展缺陷控制及封裝光刻膠多功能化的新原理和新方法。

　　（三）集成電路用高分子復(fù)合材料界面微結(jié)構(gòu)演變與失效機(jī)理研究。

　　發(fā)展界面微結(jié)構(gòu)及其演變的表征新方法，研究材料表界面物理化學(xué)特性及其在不同熱、機(jī)械等環(huán)境下的演變機(jī)理，探索復(fù)合界面處分子鏈松弛行為與熱應(yīng)力耗散的機(jī)理及復(fù)合界面偶聯(lián)改性失效的化學(xué)機(jī)制，探索金屬離子等在界面遷移擴(kuò)散與聚集行為，構(gòu)建異質(zhì)復(fù)合界面多尺度失效分析模型。

　?。ㄋ模┤嵝约呻娐份d板的材料設(shè)計(jì)與性能調(diào)控。

　　研究具有高撓曲、高尺寸穩(wěn)定柔性集成電路載板基材的合成與物性控制的新方法，探索柔性基板表界面性質(zhì)和微觀結(jié)構(gòu)的調(diào)控機(jī)制及界面增強(qiáng)的新策略，揭示柔性載板材料光敏性與光刻分辨率的構(gòu)效關(guān)系，發(fā)展柔性集成電路載板高精度導(dǎo)電線路的制造方法。

　?。ㄎ澹┟嫦蚍枪鐲MOS器件的新型溝道材料。

　　針對(duì)亞納米尺寸下傳統(tǒng)溝道材料性能衰退導(dǎo)致的集成電路功耗激增問(wèn)題，發(fā)展突破尺寸微縮極限的高質(zhì)量、低缺陷二維半導(dǎo)體材料等新型溝道材料，設(shè)計(jì)、構(gòu)筑高質(zhì)量異質(zhì)界面，實(shí)現(xiàn)載流子的高效調(diào)控，推動(dòng)新型溝道材料在非硅CMOS器件和邏輯電路的典型應(yīng)用。

　?。┟嫦蚝竽枙r(shí)代低能耗器件的晶體柵介質(zhì)材料。

　　圍繞后摩爾時(shí)代傳統(tǒng)柵介質(zhì)材料柵控能力下降導(dǎo)致的能耗瓶頸難題，研發(fā)具有低缺陷密度的新一代晶體柵介質(zhì)材料，發(fā)展超越硅基場(chǎng)效應(yīng)晶體管的新原理和新材料，實(shí)現(xiàn)低功耗器件的制備。

　?。ㄆ撸┟嫦蚋呒啥入姽庹{(diào)制器的納米光子材料。

　　針對(duì)因光學(xué)衍射極限導(dǎo)致硅光芯片難以小型化的問(wèn)題，設(shè)計(jì)新型光子材料與結(jié)構(gòu)，探索多物理場(chǎng)作用下光子材料納米光學(xué)模式的調(diào)控規(guī)律，實(shí)現(xiàn)光子材料中光傳播方向、相位和模場(chǎng)分布的精細(xì)操控，為下一代高集成度電光調(diào)制器提供新材料。

　?。ò耍┟嫦蚋呙芏热S堆疊存儲(chǔ)陣列應(yīng)用的鐵電材料。

　　針對(duì)大數(shù)據(jù)時(shí)代高密度和海量存儲(chǔ)需求，發(fā)展高密度三維堆疊存儲(chǔ)陣列新型鐵電材料，闡明鐵電材料電荷注入/反注入的微觀動(dòng)力學(xué)過(guò)程，揭示鐵電材料缺陷產(chǎn)生機(jī)制與調(diào)控機(jī)理，構(gòu)筑基于鐵電材料的高密度三維堆疊存儲(chǔ)陣列。

　?。ň牛┚A級(jí)Sn-Ag微凸點(diǎn)互連材料。

　　揭示添加劑對(duì)高、低電力線區(qū)域的抑制電沉積作用機(jī)制以及對(duì)Sn-Ag微凸點(diǎn)合金形核-結(jié)晶行為的影響規(guī)律，闡明芯片互連工藝下微凸點(diǎn)與常用Ni、Cu、ENIG等金屬基體的界面作用機(jī)理，建立直徑小于60微米、12英寸晶圓級(jí)Sn-Ag微凸點(diǎn)互連材料的電沉積制備方法。

　?。ㄊO限制程封裝電接觸材料精準(zhǔn)構(gòu)筑及電子結(jié)構(gòu)調(diào)制。

　　針對(duì)后摩爾時(shí)代集成電路極限制程封裝的高密度互連需求，提出近零缺陷電接觸材料微結(jié)構(gòu)的精準(zhǔn)構(gòu)筑新策略，揭示微量元素?fù)诫s對(duì)主體元素電子結(jié)構(gòu)的調(diào)制作用，探索金屬元素與缺陷的相互作用機(jī)制，闡明稀合金體系在機(jī)械力和熱力作用下的織構(gòu)演化規(guī)律。

　　三、資助計(jì)劃

　　本原創(chuàng)項(xiàng)目資助期限為3年，申請(qǐng)書(shū)中研究期限應(yīng)填寫(xiě)“2024年1月1日—2026年12月31日”。計(jì)劃資助8-10項(xiàng)，平均資助強(qiáng)度200萬(wàn)元/項(xiàng)。

　　四、申請(qǐng)要求

　?。ㄒ唬┥暾?qǐng)資格。

　　具有承擔(dān)基礎(chǔ)研究項(xiàng)目（課題）或其他基礎(chǔ)研究經(jīng)歷的科學(xué)技術(shù)人員均可提出申請(qǐng)。

　?。ǘ┫揄?xiàng)申請(qǐng)規(guī)定。

　　1.申請(qǐng)人同年只能申請(qǐng)1項(xiàng)原創(chuàng)項(xiàng)目（含預(yù)申請(qǐng)）。

　　2.原創(chuàng)項(xiàng)目從預(yù)申請(qǐng)開(kāi)始直到自然科學(xué)基金委做出資助與否決定之前，不計(jì)入申請(qǐng)和承擔(dān)總數(shù)范圍，獲資助后計(jì)入申請(qǐng)和承擔(dān)總數(shù)范圍。

　　3.應(yīng)符合《2023年度國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目指南》中對(duì)申請(qǐng)項(xiàng)目數(shù)量的限制。

　　五、申請(qǐng)程序

　?。ㄒ唬╊A(yù)申請(qǐng)。

　　1.預(yù)申請(qǐng)?zhí)峤粫r(shí)間為2023年11月24日－11月26日16:00時(shí)，以國(guó)家自然科學(xué)基金網(wǎng)絡(luò)信息系統(tǒng)（以下簡(jiǎn)稱(chēng)信息系統(tǒng)）提交時(shí)間為準(zhǔn)，在提交時(shí)間之外提交的申請(qǐng)將不予受理。

　　2.請(qǐng)申請(qǐng)人登錄信息系統(tǒng)https://grants.nsfc.gov.cn撰寫(xiě)預(yù)申請(qǐng)。沒(méi)有信息系統(tǒng)賬號(hào)的申請(qǐng)人請(qǐng)向依托單位基金管理聯(lián)系人申請(qǐng)開(kāi)戶(hù)。在信息系統(tǒng)“申請(qǐng)與受理”菜單下，點(diǎn)擊“原創(chuàng)項(xiàng)目預(yù)申請(qǐng)”，進(jìn)入預(yù)申請(qǐng)?zhí)顚?xiě)頁(yè)面，選擇“指南引導(dǎo)類(lèi)”，附注說(shuō)明選擇“集成電路關(guān)鍵材料前沿探索”，申請(qǐng)代碼1應(yīng)當(dāng)填寫(xiě)工程與材料科學(xué)部相應(yīng)的申請(qǐng)代碼（“E”字母開(kāi)頭），申請(qǐng)代碼2根據(jù)項(xiàng)目研究所涉及的領(lǐng)域自行選擇相應(yīng)學(xué)科申請(qǐng)代碼。以上選擇不準(zhǔn)確或未選擇的項(xiàng)目申請(qǐng)不予資助。

　　3.預(yù)申請(qǐng)主要闡述所提學(xué)術(shù)思想的原創(chuàng)性、科學(xué)性和潛在影響力，字?jǐn)?shù)控制在2000字以?xún)?nèi)。另外，申請(qǐng)人還須在“與指南所列研究方向的吻合性”中注明申請(qǐng)針對(duì)的本指南所列資助方向名稱(chēng)。申請(qǐng)人按照信息系統(tǒng)中的有關(guān)提示填寫(xiě)預(yù)申請(qǐng)相關(guān)內(nèi)容后直接提交至自然科學(xué)基金委。

　　4.自然科學(xué)基金委受理預(yù)申請(qǐng)并組織審查。審查結(jié)果將以電子郵件形式反饋至申請(qǐng)人。

　?。ǘ┱缴暾?qǐng)。

　　1.預(yù)申請(qǐng)審查通過(guò)的申請(qǐng)人，應(yīng)按照“專(zhuān)項(xiàng)項(xiàng)目-原創(chuàng)探索計(jì)劃項(xiàng)目正式申請(qǐng)書(shū)撰寫(xiě)提綱”要求填寫(xiě)正式申請(qǐng)書(shū)。正式申請(qǐng)的核心研究?jī)?nèi)容應(yīng)與預(yù)申請(qǐng)一致，并要求在正式申請(qǐng)書(shū)正文的第一句明確寫(xiě)明申請(qǐng)項(xiàng)目所對(duì)應(yīng)的本指南所列資助方向。

　　2.除特別說(shuō)明外，每個(gè)原創(chuàng)項(xiàng)目的合作研究單位數(shù)合計(jì)不超過(guò)2個(gè)；主要參與者必須是項(xiàng)目的實(shí)際貢獻(xiàn)者。

　　3.申請(qǐng)人應(yīng)根據(jù)《國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目資金管理辦法》《項(xiàng)目資金管理有關(guān)問(wèn)題的補(bǔ)充通知》有關(guān)規(guī)定和《國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目資金預(yù)算表編制說(shuō)明》的具體要求，按照“目標(biāo)相關(guān)性、政策相符性、經(jīng)濟(jì)合理性”的基本原則，認(rèn)真編制《國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目資金預(yù)算表》。

　　4.申請(qǐng)人完成申請(qǐng)書(shū)撰寫(xiě)后，在線提交電子申請(qǐng)書(shū)及附件材料。

　　5.依托單位應(yīng)對(duì)本單位申請(qǐng)人所提交申請(qǐng)材料的真實(shí)性和完整性進(jìn)行審核。原創(chuàng)項(xiàng)目采用無(wú)紙化申請(qǐng)方式，依托單位只需在線確認(rèn)并及時(shí)提交電子申請(qǐng)書(shū)及附件材料，并在截止時(shí)間后24小時(shí)內(nèi)在線提交項(xiàng)目申請(qǐng)清單，無(wú)需報(bào)送紙質(zhì)申請(qǐng)書(shū)。項(xiàng)目獲批準(zhǔn)后，將申請(qǐng)書(shū)的紙質(zhì)簽字蓋章頁(yè)裝訂在《資助項(xiàng)目計(jì)劃書(shū)》最后，與之一并提交。簽字蓋章的信息應(yīng)與信息系統(tǒng)中的電子申請(qǐng)書(shū)保持一致。

　　6.自然科學(xué)基金委項(xiàng)目材料接收工作組負(fù)責(zé)接收申請(qǐng)材料，如材料不完整，將不予接收。材料接收工作組聯(lián)系方式如下：北京市海淀區(qū)雙清路83號(hào)國(guó)家自然科學(xué)基金委員會(huì)項(xiàng)目材料接收工作組（行政樓101房間），聯(lián)系電話：010-62328591。

　　六、注意事項(xiàng)

　?。ㄒ唬┵Y助項(xiàng)目信息公布。

　　自然科學(xué)基金委將在官方網(wǎng)站公布資助原創(chuàng)項(xiàng)目基本信息。

　　（二）項(xiàng)目實(shí)施保障。

　　原創(chuàng)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人應(yīng)將主要精力投入原創(chuàng)項(xiàng)目的研究中；依托單位應(yīng)加強(qiáng)對(duì)原創(chuàng)項(xiàng)目實(shí)施的監(jiān)督、管理和服務(wù)，減輕項(xiàng)目負(fù)責(zé)人不必要的負(fù)擔(dān)，為項(xiàng)目研究提供必要的制度和條件保障。

　?。ㄈ┢渌?/p>

　　原創(chuàng)項(xiàng)目申請(qǐng)與資助不設(shè)復(fù)審環(huán)節(jié)。

　　自然科學(xué)基金委將把相關(guān)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人項(xiàng)目執(zhí)行情況和評(píng)審專(zhuān)家的評(píng)審情況計(jì)入信譽(yù)檔案。

　?。ㄋ模┳稍?xún)方式。

　　1.填報(bào)過(guò)程中遇到的技術(shù)問(wèn)題，可聯(lián)系自然科學(xué)基金委信息中心協(xié)助解決，聯(lián)系電話：010-62317474。

　　2.其他問(wèn)題可咨詢(xún)工程與材料科學(xué)部綜合與戰(zhàn)略規(guī)劃處，電話：010-62326887。